产品介绍:
NVM - 系列是用于高端PCB高速自动测量设备,在IC Substrate应用上,测量 Viahole、图形图像、形貌等11种功能。
自动对位和自动对焦功能可以实现全自动测量,显示和保存结果数据在PC上,非接触方式统计分析大面积高精度3D测量设备(垂直精度0.5nm)
更换物镜可改变视场。
适用 HDI PCB/基板等,多条工序的实时监控
产品功能:
表面粗糙度(Ra,Rq,Rp,Rv,Rt,Rz)
测量高、宽、直径
2D测量( Option:GCP底部孔径)
精确测量专用设备,功能突出
通过非接触式,快速精确的测量表面形貌
具有纳米分辨率使用光学干涉法